干法清洗设备专家-Dry Clean Equipment Expert(J21665)

1.设备评估与导入‌：主导新设备的选型、技术评估、安装调试及验收工作，确保新设备符合生产质量需求并顺利导入量产。参与RFQ（需求建议书）制定，审查设备规格，保障技术可行性。

‌2.故障诊断与维护‌：负责在线工艺问题的快速诊断与解决，分析异常数据，推动临时防堵措施和根本原因分析，保障设备稳定运行。制定并执行设备保养计划、零备件管理策略，降低宕机时间。

3.协助干法刻蚀工艺的开发、验证与持续优化，确保刻蚀选择性、速率、均匀性和各向异性等关键指标满足器件设计要求。通过DOE实验设计和响应曲面模型，系统性调整气体配比、功率、压力等参数，提升工艺窗口和稳定性。

4.进行日常工作汇报与交接：清楚完整交接异常机台，产品处理方式及后续追踪。

任职资格

1.本科及以上学历，理工科背景优先。

2.具备5年以上半导体干法刻蚀设备经验，具备丰富的故障排查和维修能力。

3.熟悉刻蚀工艺原理及设备结构，掌握常用诊断工具与方法。

4.具备数据分析及实验设计能力，能运用DOE等工具进行工艺优化。

5.工作严谨细致，具有良好的沟通协调能力和团队合作精神。